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气体质量流量控制器如何选择密封材料

通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。

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流体控制

流体控制是利用流体的各种控制元件（各种泵、阀门、油缸）及液压系统附件（过滤器、管路接头、液位计、压力仪表等），组成控制闭式回路，以进行自动控制。

液压控制 液压控制用油液作为工作介质，故能把由于功率的损耗而产生的热量，从发生的地方带到别处，这样在一定的功率情况下，可以大大减小部件的尺寸；从负载的影响看，液压系统具有机械上的刚性，用在闭环系统中，智能流体数字控制模块公司，定位刚度较大，位置误差较小；与机械机构相比，液压执行器的响应速度较高，能高速启动、制动与反向，同时其力矩—惯量比也较大，智能流体数字控制模块，因而其加速能力较强；液压传动易实现无级调速，具有自身润滑等优点。

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质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中，智能流体数字控制模块， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa，智能流体数字控制模块报价， 若压差低于值(0.1 MPa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。

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